膜厚儀能測(cè)量PVD涂層嗎？

膜厚儀能測(cè)量PVD涂層嗎？

答案：是可以測(cè)量，但不是所有覆蓋PVD涂層的部件都可以測(cè)量的出結(jié)果。

"PVD（PhysicalVaporDeposition）涂層"是一種表面處理技術(shù)，通過(guò)以原子和分子水平形成涂層，實(shí)現(xiàn)"高耐久性"、"低磨損"和"長(zhǎng)壽命"，也就是說(shuō)PVD涂層也是為主基材服務(wù)。

在涂層用的金屬材料與處理爐（腔室）之間進(jìn)行電弧放電，金屬材料會(huì)氣化為等離子態(tài)，將鍍膜元素離子化。隨后，只要在工件上施加負(fù)電壓，離子化后的元素就會(huì)高速撞擊工件，形成涂層。利用不同的金屬材料和加工條件，可以實(shí)現(xiàn)各種涂層特性，例如耐磨性、耐熱性等。此外，使用多種金屬材料，還可形成多元素合金膜或其層壓膜。改變注入到處理爐中的氣體種類和量，可以涂層添加有碳等氣體元素的膜。

我們以麥克倫膜厚儀產(chǎn)品MK08舉例，它是一款磁性效應(yīng)和渦流效應(yīng)一體的膜厚儀儀器，理論是可以測(cè)量覆蓋PVD涂層的鐵基和鋁基基材，但PVD涂層厚度需要在0-2000um范圍內(nèi)。這里膜厚儀的特點(diǎn)就是可以做到無(wú)損測(cè)量。如果超出2000um的PCD涂層，則可以用超聲波類涂層測(cè)厚儀來(lái)實(shí)現(xiàn)測(cè)量。